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日本CKD小型流量感测器AC4000-03D
各种泄露检查
针孔检查
离子化器的吹扫气体确认
焊接气体的管理
吹扫气体的流量管理
落座确认
吸附确认
可以直接测量泄露流
量。即便是微压，由于
输出与针孔成正比，
因此也可以用来判断
有否故障、确认状态
①与①与压力感测器不相上下的高速应答（应答由管线的内容积、压力等决定）
②由于是通过流量探测的，因此不存在因压力的变化而引起的调节、误检情形。
③可以探测出喷嘴或过滤器的孔口堵塞。
④通过流量探测，可以管理倾斜吸附等吸附错误。
利用压力感测器时有时差压过小而无法判别，此
时根据流量可以准确地进行判别。
激光激发器、半导体制造装置的N2气体管理
处置的流量量程大。
内嵌速控器型（特别订购品）可以
轻松对流量进行控制。
各种泄露检查
离子化器的流量管理
焊接氩、碳酸气的流量管理
涂装气体的流量管理
吹扫气体的流量管理
吸附确认
与压力感测器相比较（喷嘴直径为Ф0.3、真空压力为-70kPa时）
日本CKD小型流量感测器AC4000-03D
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阿里旺旺