日本SUNX晶圆定位传感器结构小巧、轻盈型

日本SUNX晶圆定位传感器结构小巧、轻盈型

工作原理：
利用反射光量检测时，反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件，通过反射光位置而非反射光量进行检测。因此，受晶圆厚度和反射光量的影响较小。
基于2段受光元件的高精度位置检测
M-DW1以反射光的位置来检测，不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。
氮化膜具有可吸收特定波长光的性质，吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。
因此，对于使用单波长激光的传感器，可能会因光全被吸收而无法检测。

尺寸图

• 单位mm

日本SUNX晶圆定位传感器结构小巧、轻盈型

详细资料：
而LED光源的光具有定波长段，即使氮化膜晶圆也可准确检测。
实现0.5ms的高速反应。兼顾高速反应性和高精度。
基于2段受光元件的高精度位置检测
可从四个方向引出电缆
传感器可以从正前方、右侧、左侧、下方四个方向引出电缆。可根据传感器的设置情况灵活调节。
可从四个方向引出电缆
内置放大器的小巧、轻盈型
尺寸为宽度80.6mm×厚度18.3mm×进深50mm，约为75g的小巧、轻盈型。
以往使用激光的激光式定位传感器，激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员，十分危险。
M-DW1成功使用LED光源。确保操作人员安全。