供应日本CKD小型流量感测器喜开理感测器

供应日本CKD小型流量感测器喜开理感测器

小型流量感测器可以用在机械、汽车、计量仪器、精密仪器等域和半导体、
生物等*域以及医疗、食品域等上，用途非常广泛多样。
适用流体
感测器的用途
各种泄露检查
针孔检查
离子化器的吹扫气体确认
焊接气体的管理
吹扫气体的流量管理
有否故障、确
可处理的流量量程大。
内嵌速控器型（特别订购
以轻松对流量进行控制。
可处理的流量量程大。
①与压力感测器不相上下的高速应答（应答由管线的内容积、压力等决定）
②由于是通过流量探测的，因此不存在因压力的变化而引起的调节、误检情形。
③可以探测出喷嘴或过滤器的孔口堵塞。
④通过流量探测，可以管理倾斜吸附等吸附错误。
利用压力感测器时有时差压过小而无法判别，此
时根据流量可以准确地进行判别。
激光激发器、半导体制造装置的N2气体管
处置的流量量程大。
内嵌速控器型（特别订购品）可以
轻松对流量进行控制。
离子化器的流量管理
焊接氩、碳酸气的流量管
涂装气体的流量管理
吹扫气体的流量管理
吸附确认
与压力感测器相比较（喷嘴直径为Ф0.3、真空压力为-70kPa时）
小型流量感测器（使用FSM2-※010时） 压力感测器
落座确认
流量差 ：830mL/min
压力差 ：2kPa
吹扫气体的管理对于保持设备装置的
是*的。
由于是超小型产品，因此很容易装入设备

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