品牌 | Panasonic/日本松下 | 应用领域 | 环保,电子,电气 |
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原装panasonic晶圆定位传感器操作模式
使用环境温度 0~+40℃(注意不可结露),存储时:-20~+55℃
投光元件 红色LED(投光波峰波长:650nm)
使用环境照明度 白炽灯:受光面照明度3,000lx以下、荧光灯:受光面照明度3,000lx以下
耐电压 AC1,000V 1分钟 所有电源连接端子与外壳之间
缘电阻 所有电源连接端子与外壳之间,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表
耐振动 频率10~150Hz 双振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小时
耐冲击 加速度490m/s2(约50G) X,Y和Z方向各3次
受光元件 光电二极管
材质 本体外壳:PEI、前罩部:玻璃、安装基座:铝
电缆 耐热PVC电缆0.5m末端带连接器
低消耗电流70mA以下
检测头和控制器的总消耗电流为70mA以下。实现光电传感器同等的低功耗。
高分辨率30μm
虽然使用红色LED作为光源,但仍然具有激光传感器同样的高,因此可实现高精度检测。
无需光轴调整
投、受光部体型,无需繁琐的光轴调整。并且,检测距离及检测宽度可以覆盖30mm的广阔区域,可对应各种不同尺寸的晶圆。
配备系数和偏移量调整功能
模拟输出(1~5V)除了系数调整功能之外,还具备方便的偏移调整功能,可在±0.5V的范围内转换模拟电压。
使用环境湿度 35~85%RH、存储时:35~85%RH
使用安全的红色LED作为光源,无需任何繁杂的安全措施。无需使用激光时*的保护罩,在美国使用时不需要符合FDA标准。
使用ONE SHOT连接器将检测头与控制器连接。配线工时降zui低限度,维护轻松。
原装panasonic晶圆定位传感器操作模式
安装方式: