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SMC真空过滤器介绍，作用，种类分别介绍如下
真空过滤器是将从大气中吸入的污染物（主要是尘埃）收集起来，以防止真空系统中的元件受污染而出现故障。故吸盘与真空发生器（或真空阀）之间，应设置真空过滤器。真空发生器的排气口、真空阀的吸气（或排气口）和真空泵的排气口也都应装上消音器，这不仅降低噪声而且能起过滤作用，以提高真空系统工作的性。
对真空过滤器的要求是，滤芯污染程度的确认简单，清扫污染物容易，结构紧凑，不致使真空到达时间增长。
SMC真空过滤器有三个系列：ZFA、ZFB、ZFC。这三种系列的真空过滤器结构原理图分别如下。
SMC ZFA系列真空过滤器是箱式结构，便于集成化。滤芯呈叠褶形状，故过滤面积大，可通过流量大，使用周期长。
SMC ZFB系列真空过滤器是管式连接。由于使用了万向接头，配管可在360°范围内自由安装。使用快换接头，装卸配管迅速。
SMC ZFC系列真空过滤器是小型直通式（进出口在条线上）快换接头连接，不需工具便可更换滤芯。当过滤器两端压降大于0.02MPa时，滤芯应拆下清洗或更换。
SMC真空过滤器耐压0.5MPa，滤芯耐压差0.15MPa，其他技术参数请参见样本。
在安装SMC真空过滤器时，注意进出口不得装反。配管处不得有泄露。维修时，密封件不得损伤。过滤SMC真空器进口压力不要超过0.5MPa，这点可通过调节减压阀和节流阀来。真空过滤器的流速不大，空气中的水分不会凝结，故改过滤器无需分水功能，不要用AF系列过滤器取代ZF系列过滤器，避免变差。
| ZFA100-01 | ZFB100-04 | ZFB300-10 | ZFC100-06X17 |
| ZFA100-01L | ZFB100-06 | ZFB301-11 | ZFC101-03B |
| ZFA200-02 | ZFB101-07 | ZFB401-13 | ZFC101-07B |
| ZFA200-02L | ZFB200-06 | ZFC100-04B | ZFC200-06B |
| ZFA200-02R | ZFB200-08 | ZFC100-04BX9 | ZFC200-06X17 |
| ZFA200-F02 | ZFB201-07 | ZFC100-04X17 | ZFC200-08 |
| ZFA200-T02R | ZFB300-08 | ZFC100-06B | ZFC200-08B |
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